Vooraankondiging Themamiddag Tribologie in de Halfgeleiderindustrie

Datum: februari/maart 2024 – t.b.a.
Tijd: 13.00-18.00 uur
Locatie: ASML Veldhoven

Rond Eindhoven is veel High Tech industrie die voortdurend tegen de randen van het haalbare producten ontwikkelt. Hier treden vele soorten problemen op, waarvan die van wrijving en slijtage tot de moeilijkste behoren.

Thema’s en uitdagingen

  • De machineonderdelen worden geproduceerd in serie terwijl nanometernauwkeurigheid wordt gevraagd (multiscale). Ze worden ingezet in massafabricage, waarbij deze nauwkeurigheid gewaarborgd moet blijven.
  • Het gebruik stelt strenge eisen aan contaminatie, bijv. door slijtage en deeltjesvorming, bij continu (24/7) gebruik en productieaantallen van 200-400 wafers per uur.
  • Lagers en rechtgeleidingen worden gebruikt onder uitdagende condities: in vacuĆ¼m en/of voor zogenaamde step-scan bewegingen: korte start-stop bewegingen met hoge versnellingen.
  • Geplande restricties van PFAS houdende materialen vragen om vervanging van PTFE en PFPE.

In deze middag zullen specialisten afkomstig uit diverse disciplines en bedrijven ingaan op dit onderwerp, zoals Julien van Kuilenburg (ASML), Steve Franklin (ARCNL), Kasper van den Broek (VDL-ETG) en Jacob Sukumaran (Philips). Als locatie hebben wij het ASML Experience Center op het oog.

Meer informatie volgt.

Deel dit bericht: